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高纯气体根据分子结构的不同可以分为有机高纯气体,和无机高纯气体,高纯气体(PurifiedGases)气体工业名词,通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。有机高纯气体有哪些?烷烃类:甲烷(CH4)、乙烷(C2H6)、丙烷(C3
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高纯氮气在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气,化学气相淀积时的载气,液体扩散源的携带气,在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中,作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为9
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高纯气体对于不同类别的气体,纯度指标不同,例如对于氮,氢,氩,氦而言,通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体;而对于氧气,纯度为99.99%即可称高纯氧;对于碳氢化合物,纯度为99.99%的即可认为是高纯气体。高纯气体应用领域极宽,